<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<record
    xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance"
    xsi:schemaLocation="http://www.loc.gov/MARC21/slim http://www.loc.gov/standards/marcxml/schema/MARC21slim.xsd"
    xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">

  <leader>00421nam a2200169Ia 4500</leader>
  <datafield tag="100" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">Campbell/Stephen A </subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">MicroElectronics</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="250" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">2</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="942" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="c">BK</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="366" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="f">25</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="654" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">microelectronic</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">The science and engineering of Microelectronic Fabrication</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="260" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="b">Oxford  university press</subfield>
    <subfield code="c">2001</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="082" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">621.38152</subfield>
    <subfield code="b">CAM</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">603</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="546" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="a">ENGLISH</subfield>
    <subfield code="c">PAMPHALETS</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="999" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="c">33634</subfield>
    <subfield code="d">33634</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="952" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="0">0</subfield>
    <subfield code="1">0</subfield>
    <subfield code="4">0</subfield>
    <subfield code="7">0</subfield>
    <subfield code="8">CRC</subfield>
    <subfield code="a">CRCE</subfield>
    <subfield code="b">CRCE</subfield>
    <subfield code="d">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="e">Book Base</subfield>
    <subfield code="g">393.75</subfield>
    <subfield code="i">12107 dt 08/02/2013</subfield>
    <subfield code="l">0</subfield>
    <subfield code="o">621.38152 CAM</subfield>
    <subfield code="p">22507</subfield>
    <subfield code="r">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="v">525.00</subfield>
    <subfield code="w">0000-00-00</subfield>
    <subfield code="y">BK</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="952" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="0">0</subfield>
    <subfield code="1">0</subfield>
    <subfield code="4">0</subfield>
    <subfield code="7">0</subfield>
    <subfield code="8">CRC</subfield>
    <subfield code="a">CRCE</subfield>
    <subfield code="b">CRCE</subfield>
    <subfield code="d">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="e">Book Base</subfield>
    <subfield code="g">393.75</subfield>
    <subfield code="i">12107 dt 08/02/2013</subfield>
    <subfield code="l">0</subfield>
    <subfield code="o">621.38152 CAM</subfield>
    <subfield code="p">22508</subfield>
    <subfield code="r">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="v">525.00</subfield>
    <subfield code="w">0000-00-00</subfield>
    <subfield code="y">BK</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="952" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="0">0</subfield>
    <subfield code="1">0</subfield>
    <subfield code="4">0</subfield>
    <subfield code="7">0</subfield>
    <subfield code="8">CRC</subfield>
    <subfield code="a">CRCE</subfield>
    <subfield code="b">CRCE</subfield>
    <subfield code="d">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="e">Book Base</subfield>
    <subfield code="g">393.75</subfield>
    <subfield code="i">12107 dt 08/02/2013</subfield>
    <subfield code="l">0</subfield>
    <subfield code="o">621.38152 CAM</subfield>
    <subfield code="p">22509</subfield>
    <subfield code="r">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="v">525.00</subfield>
    <subfield code="w">0000-00-00</subfield>
    <subfield code="y">BK</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="952" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="0">0</subfield>
    <subfield code="1">0</subfield>
    <subfield code="4">0</subfield>
    <subfield code="7">0</subfield>
    <subfield code="8">CRC</subfield>
    <subfield code="a">CRCE</subfield>
    <subfield code="b">CRCE</subfield>
    <subfield code="d">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="e">Book Base</subfield>
    <subfield code="g">393.75</subfield>
    <subfield code="i">12107 dt 08/02/2013</subfield>
    <subfield code="l">0</subfield>
    <subfield code="o">621.38152 CAM</subfield>
    <subfield code="p">22510</subfield>
    <subfield code="r">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="v">525.00</subfield>
    <subfield code="w">0000-00-00</subfield>
    <subfield code="y">BK</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="952" ind1=" " ind2=" ">
    <subfield code="0">0</subfield>
    <subfield code="1">0</subfield>
    <subfield code="4">0</subfield>
    <subfield code="7">0</subfield>
    <subfield code="8">CRC</subfield>
    <subfield code="a">CRCE</subfield>
    <subfield code="b">CRCE</subfield>
    <subfield code="d">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="e">Book Base</subfield>
    <subfield code="g">393.75</subfield>
    <subfield code="i">12107 dt 08/02/2013</subfield>
    <subfield code="l">0</subfield>
    <subfield code="o">621.38152 CAM</subfield>
    <subfield code="p">22511</subfield>
    <subfield code="r">2023-03-17</subfield>
    <subfield code="v">525.00</subfield>
    <subfield code="w">0000-00-00</subfield>
    <subfield code="y">BK</subfield>
  </datafield>
</record>
